光固化微压印脱模过程对制品精度影响的研究
马旭, 佟金戈, 贺建芸, 王佳佳, 陈慧, 孔建
Effect of the photocuring microimprint demolding process on product precision
MA Xu, TONG JinGe, HE JianYun, WANG JiaJia, CHEN Hui, KONG Jian
北京化工大学学报（自然科学版）
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2021, (3): 59
-64
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DOI: 10.13543/j.bhxbzr.2021.03.007
