三氯氢硅精馏过程的模拟与优化

三氯氢硅精馏过程的模拟与优化

李群生1;白洁1; 郭增昌2;王宝华3*

Simulation and optimization of the trichlorosilane distillation process

LI QunShen1;BAI Jie1;GUO ZengChang2;WANG BaoHua3

. 2012, (1): 1 -05 .