一种同轴腔微波等离子体反应器的设计及电磁场计算

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北京化工大学学报（自然科学版） ›› 2014, Vol. 41 ›› Issue (1) : 106-110.

机电工程和信息科学

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Calculation and design of the electromagnetic field in a coaxial resonator microwave plasma reactor

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收稿日期	修回日期	出版日期
2013-09-06	1900-01-01	2014-01-20
发布日期
2014-01-20

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