圆盘反应器成膜性能的实验研究

吴妙奇;李志鹏;高正明*

北京化工大学学报（自然科学版） ›› 2010, Vol. 37 ›› Issue (5) : 10-14.

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材料科学与工程

圆盘反应器成膜性能的实验研究

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Filmforming characteristics in a rotating disk reactor

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